切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 20187閱讀
    • 157回復

    [分享]光刻機照明系統設計 [復制鏈接]

    上一主題 下一主題
    離線hhxxgg00
     
    發帖
    1467
    光幣
    20001
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發表于: 2013-04-02
    隨著微電子產業的迅猛發展,我國迫切需要研制極大規模集成電路的加工設備-光刻機。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機因其技術成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節點的優勢已成為目前光刻領域的主流設備。照明系統是光刻機的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實現離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統光學設計為研究方向,對照明系統關鍵單元進行了光學設計仿真研究。 jpt-5@5O  
    xz*MFoE  
    CAJ文件 /|WBk}  
    長光機博士論文 \:Z8"~G  
    附件設置隱藏,需要回復后才能看到
     
    這個時代,每個人都在大聲說話,每個人都在爭分奪秒。我們用最快的速度站上高度。但是也在瞬間失去態度。當喇叭聲遮蓋了引擎聲,我們早已忘記,謙謙之道才是君子之道。你問我這個時代需要什么,在別人喧囂的時候安靜,在眾人安靜的時候發聲。不喧嘩,自有聲。
    分享到
    離線xingyu4153
    發帖
    459
    光幣
    96
    光券
    0
    只看該作者 1樓 發表于: 2013-04-02
    長光機博士論文
    離線drymatini
    發帖
    1167
    光幣
    1801
    光券
    0
    只看該作者 2樓 發表于: 2013-04-02
    好資料!
    離線moth
    發帖
    504
    光幣
    1446
    光券
    0
    只看該作者 3樓 發表于: 2013-04-02
    看看看················
    離線姜守望
    發帖
    70
    光幣
    18
    光券
    0
    只看該作者 4樓 發表于: 2013-04-02
    頂一下,……
    離線yu-xuegang
    發帖
    1546
    光幣
    19270
    光券
    3
    只看該作者 5樓 發表于: 2013-04-02
    頂一下,……
    離線tmdapple123
    發帖
    626
    光幣
    1
    光券
    0
    只看該作者 6樓 發表于: 2013-04-02
    光幾所!哎
    離線maiwudi
    發帖
    1575
    光幣
    6493
    光券
    0
    只看該作者 7樓 發表于: 2013-04-02
    看看啦
    離線ciomp1312
    發帖
    138
    光幣
    1
    光券
    0
    只看該作者 8樓 發表于: 2013-04-04
    長光機博士論文
    離線光學行當
    發帖
    116
    光幣
    78
    光券
    0
    只看該作者 9樓 發表于: 2013-04-04
    看一看
    操操操天天干